ТЕЧЕИСКАНИE
В вакуумной технике под течеисканием понимается совокупность средств, методов и способов обнаружения течей и установления степени герметичности вакуумных систем.
Место нарушения целостности оболочки называют течью. Это обычно микропоры в самом материале оболочки и в сварных швах, риски на рабочей поверхности фланцев и металлических уплотнителей, образующие сквозной канал с выходом на обе стороны оболочки. Величина течи, так же, как и степень герметичности, характеризуется потоком воздуха, перетекающего через течь в единицу времени при нормальных условиях.
В вакуумной технике количество газа, натекающего в систему, часто характеризуют произведением объема проникшего газа V на его давление Р. Количество газа, проникшего в систему, деленное на время натекания, определяет поток газа.
В системе СИ основными единицами объема, давления и времени являются метр кубический (м3), паскаль, равный ньютону, деленному на метр квадратный (Па = Н/м2) и секунда (с). Отсюда поток будет выражаться:
.
До настоящего времени в вакуумной технике, в частности, в течеискании, еще широко применяется в качестве единицы измерения потока газа литр на микрон ртутного столба в секунду (л× мкм рт. ст/с), равный 1,33× 104 Вт.
Требования к степени герметичности вакуумной системы определяются величиной максимально допустимого натекания в систему При контроле герметичности изделия следует различать две основные технологические операции:
1) контроль герметичности — технологическая операция, служащая для установления степени герметичности изделия;
2) поиск течи — операция, заключающаяся в обнаружении и установлении мест расположения единичных течей.
Для установления степени герметичности системы с одной стороны оболочки подают пробное вещество — газ или жидкость, легко выделяемые (идентифицируемые) в окружающей среде или в составе остаточного газа. С другой стороны, оболочки фиксируют появление и количественное изменение содержания пробного вещества.
По способу создания потока и идентификации пробного вещества различают следующие методы контроля герметичности: метод опрессовки, люминесцентный метод, метод искрового разряда, манометрический метод, галогенный метод, масс-спектрометрический метод и некоторые другие. В вакуумной технике наибольшее распространение получили масс-спектрометрический и манометрический методы в различных модификациях.