КОМАНДЫ ОПЕРАТОРА ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКЕ
ВВЕДЕНИЕ
1.1. Настоящее руководство оператора является руководством по запуску и работе с
программным обеспечением установки нанесения пленок методом термического испарения МВУ ТМ ТИС 100 (в дальнейшем — установка).
1.2. Для изучения и эксплуатации установки необходимо дополнительно
руководствоваться техническим описанием и руководством по эксплуатации на установку и документами, приведёнными в комплекте эксплуатационной
документации.
НАЗНАЧЕНИЕ ПРОГРАММЫ
Программное обеспечение установки предназначено для:
2.1. Обеспечения включения в наладочном (ручном) режиме
- элементов вакуумной системы (откачного поста, клапана напуска);
- технологических блоков (нагревателя, блока питания резистивного
испарителя);
- механизма вращения заслонки;
- механизма вращения подложкодержателя;
- механизма вращения пластины.
2.2. Обеспечения передачи и приема заданных параметров технологических
процессов;
2.3. Обеспечения автоматической работы установки в едином вакуумном цикле в
соответствии с заданным алгоритмом работы и с заданными технологическими
параметрами после запуска оператором режима «Рабочий цикл»;
2.4. Обеспечения сброса рабочего цикла по команде оператора (Режим «Аварийное отключение»);
2.5. Автоматического запуска режима «Аварийное отключение установки» при пропадании воды на работающей технологической позиции и при превышении давления (свыше 500 Па) на входе высоковакуумного насоса, если он разогнан.
2.6. Поддержания интерфейса пользователя, позволяющего:
- создавать и хранить в библиотеке параметров технологические параметры на
каждый технологический процесс;
- оперативно изменять технологические параметры даже во время процесса;
- отображать на экране запрашиваемую оператором информацию о состоянии элементов вакуумной системы установки, заданные и текущие параметры технологических процессов с постоянным обновление информации не реже 1 сек;
- оперативно отображать на экране любую предупредительную и аварийную информацию;
- обеспечивать наличие подсказки оператору (окна).
УСЛОВИЯ ПРИМЕНЕНИЯ И ВЫПОЛНЕНИЯ ПРОГРАММЫ
Программное обеспечение выполнено на языке «СИ» для IBM PC и работает под управлением операционной системы WINDOWS XP.
Для работы программного обеспечения необходим следующий минимальный объем технических средств: ЭВМ типа IBM PC, Pentium 4, 3000MHz с объемом ОЗУ 512 МБ.
ЗАПУСК ПРОГРАММЫ
Для запуска программы необходимо выполнить следующие операции:
4.1. Подать питание на установку, на силовой панели шкафа должна загореться желтая индикационная лампа слева от автоматического выключателя «Сеть ~220В,50Гц»;
4.2. Включить автоматический выключатель «Сеть ~220В,50Гц»;
4.3. На индикационной панели шкафа нажать кнопку «ПУСК», на силовой панели шкафа должна загореться желтая индикационная лампа справа от автоматического выключателя «Сеть ~220В,50Гц»;
4.4. Включить источник бесперебойного питания «ИБП», на нем должен загореться зеленый светодиод;
4.5. С помощью ключа открыть стеклянную дверцу контроллера «ROBO-2000» и включить кнопку «POWER», должен загореться зеленый светодиод «POWER»;
4.6. На экране монитора появится мнемосхема установки (рис. 1).
 |
Рис. 1
4.7. Для отключения питания установки необходимо:
- на экране монитора нажать клавишу «ВЫХОД» в первой строке; на экране появится панель предупреждения;
- перед надписью «Выключение компьютера» нажать клавишу «ДА»; дождаться, пока экран монитора погаснет;
- выключить источник бесперебойного питания «ИБП»;
- на индикационной панели нажать кнопку «СТОП»; желтая индикационная лампа справа от автомата должна погаснуть;
- выключить автомат«~220В,50Гц» шкафа управления;
- отключить силовое питание на установку, желтая индикационная лампа слева от автомата должна погаснуть.
5. ОБЩИЕ ПРАВИЛА ЭКРАННОГО ДИАЛОГА
5.1. Весь экран разделен на 5 информационных зон (см. рис. 2):
1 - верхняя строка - клавиши выбора меню (страниц отображения информации);
2- вторая строка - отображение текущего состояния процесса;
3- мнемоническая схема или таблица с заданными и текущими значениями
технологического процесса;
4- клавиши запуска режимов установки;
5- зона отображения диагностических сообщений и отказов (красная).
 |
Рис. 2.
В зависимости от страницы на экране могут присутствовать не все информационные зоны. Клавиши выбора меню (верхняя строка) присутствуют на каждой странице.
5.2. Вывод на экран выбранного меню осуществляется нажатием соответствующей
клавиши в верхней строке. Для этого необходимо с помощью мыши подвести
курсор к данной клавише и щелкнуть левой кнопкой мыши. На экране появится
страница выбранного меню, при этом клавиша меню в верхней строке изменит цвет
на более светлый.
5.3. Вторая строка разделена на три части (см. рис. 2):
- в первой части, на коричневом фоне отображается название автоматического режима (например, «Рабочий цикл») установки, который в данный момент активизировал оператор;
- во второй части, на темно-сиреневом фоне отображается название выполняемой рабочей подпрограммы режима (например, «Ожидание ответа оператора»);
- в третьей части, на сиреневом фоне отображается последняя выполненная рабочая подпрограмма текущего режима (например, «Механизм подложкодер-жателя путь прошел»).
5.4. В третьей информационной зоне экрана присутствует либо мнемоническая схема установки, либо таблицы с перечнем технологических параметров и их значениями - заданными и текущими, интервалами их изменения и их размерностью.
5.5. В четвертой информационной зоне экрана присутствуют клавиши запуска режимов (автоматических или ручных), которые оператор может запустить при работе с данной страницей.
5.6.
 |
В пятой информационной зоне экрана - зоне отказов - на красном фоне отображается текстовая информация по отказам и диагностическим сообщениям, например, «Нет давления в гидросети». Если в зоне отказов справа появляется клавиша с восклицательным знаком (см. рис. 3) - это означает, что не вся информация об отказах поместилась на экране в зоне отказов.
Рис. 3.
Для просмотра всей информации необходимо с помощью мыши подвести курсор к данной клавише и щелкнуть левой кнопкой. На экране появится окно с полной
 |
диагностикой отказов (см. рис. 4). Для выхода нажать клавишу «Закрыть» в этом окне.
Рис. 4.
5.7. На мнемосхеме состояние исполнительных элементов вакуумной системы в текущий момент времени отображается цветом:
белый - открыт (включен),
зеленый - закрыт (выключен),
красный - отказ,
серый - неопределенное состояние.
Если на мнемосхеме нижний квадрат откачного поста отображается белым
цветом — значит, включен форвакуумный насос откачного поста, верхний квадрат белый — высоковакуумный насос откачного поста (ТМН). Во время разгона высоковакуумного насоса прямоугольный контур откачного поста мигает белым, после разгона — отображается белым.
На мнемосхеме в прямоугольнике Д1 отображаются числовые значения низкого и высокого вакуума в Па.
Если на клавише запуска режима название режима отображается белым цветом, то данный режим включен (активизирован), зеленым цветом - выключен.
В таблице, расположенной в правом верхнем углу мнемосхемы, отображается давление воды на входе установки и температура воды на сливе водоохлаждаемых устройств. Если температура водоохлаждаемого устройства отображается на голубом фоне, то необходимый уровень расхода достигнут.
5.8. В выводимых на экран страницах экранного меню приняты следующие обозначения и сокращения:
1.21е-04 - пример обозначения степени вакуума, соответствующей
общепринятому 1.21 • 10-4 Па;
РЦ - рабочий цикл;
Кл - клапан;
Д - вакуумный датчик (вакуумметр);
БПН - блок питания нагревателя;
БПРИ - блок питания резистивного испарителя;
РИ - резистивный испаритель.
ТМН - турбомолекулярный насос.
КОМАНДЫ ОПЕРАТОРА ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКЕ
ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ
Управление процессом включает последовательный набор следующих основных операций:
1) настройка параметров работы установки;
2) ввод и передача технологических параметров;
3) запуск режима «Рабочий цикл».
А также вспомогательных:
1) запуск режима «Аварийное отключение»;
2) запуск режима «Сброс».
Существует также наладочный режим, предназначенный для проведения наладочных работ, к которым можно отнести:
1) проверку работоспособности элементов вакуумной системы (откачного поста, клапана напуска);
2) проверку работоспособности механизма вращения заслонки;
3) проверку работоспособности механизма вращения подложкодержателя;
4) проверку работоспособности механизма вращения пластины;
5) проверку работоспособности технологических блоков (нагрева и резистивного испарителя);
6) проверку работоспособности дискретных входов-выходов («Формат»);
7) проверку работоспособности аналоговых входов-выходов («Формат»).