Угол поворота подложкодержателя от исходного датчика до позиции переукладки
После сборки установки у изготовителя подобран угол поворота подложкодержа-теля от точки выхода подложкодержателя из датчика исходного положения механизма до позиции переукладки (перед дверью камеры). Этот путь введен и сохранен в данной ячейке настройки. В автоматических режимах программа использует данные этой ячейки. Изменять эти данные можно только в том случае, если после наладочных работ изменилось исходное положение механизма.
Для ввода нового значения необходимо:
- в столбце «Задание» строки 2 «Угол поворота подложкодержателя от исходного датчика до позиции переукладки» щелкнуть два раза левой кнопкой мыши;
- с помощью клавиатуры набрать необходимое значение параметра;
- нажать клавишу «Передача параметров»;
- ввести «Да» для подтверждения передачи;
- в столбце «Текущее» высветится введенный угол поворота.
Аналогично изменяется угол поворота заслонки от исходного датчика до позиции переукладки см. п. 3 таблицы «Настройка».
6.2.3. Включать нагрев?
С помощью таблицы «Настройка» можно запретить работу любого технологического устройства (нагревателя, блока питания резистивного испарителя), например, если это устройство неисправно, а технологический процесс можно вести без него. В случае запрета программа не обращается к этому устройству и блокирует ввод параметров этого устройства.
Для запрета работы нагревателя необходимо:
- в столбце «Задание» строки 4 «Включать нагрев?» нажать клавишу ▼;
- появится столбец со значениями «Да», «Нет»;
- с помощью мыши выбрать клавишу «Нет»;
- нажать клавишу «Передача параметров»;
- ввести «Да» для подтверждения передачи;
- в столбце «Текущее» высветится параметр «Нет».
Аналогично можно запретить работу блока питания резистивного испарителя см. п. 5 таблицы «Настройка».
Текущая скорость вращения.
С помощью данного параметра настройки можно менять текущую скорость вращения механизма. Для изменения текущей скорости вращения подложкодержателя необходимо:
- в столбце «Задание» строки 6 «Текущая скорость вращения подложкодер-жателя» нажать клавишу ▼;
- появится столбец со значениями скорости от 1 до 7 в условных единицах;
- с помощью мыши выбрать нужное значение;
- нажать клавишу «Передача параметров»;
- ввести «Да» для подтверждения передачи;
- в столбце «Текущее» высветится выбранное значение скорости.
Аналогично можно изменять текущую скорость вращения заслонки и пластины см. п.п. 7-8 таблицы «Настройка».
Минимальная скорость вращения.
С помощью данного параметра настройки можно менять минимальную скорость вращения механизма. На минимальной скорости механизм едет в датчик исходного положения, в начале пути (для плавного начала движения) и в конце пути (для точности останова). Для изменения минимальной скорости вращения подложкодержателя необходимо:
- в столбце «Задание» строки 9 «Минимальная скорость вращения подложко-держателя» нажать клавишу ▼;
- появится столбец со значениями скорости от 1 до 7 в условных единицах;
- с помощью мыши выбрать нужное значение;
- нажать клавишу «Передача параметров»;
- ввести «Да» для подтверждения передачи;
- в столбце «Текущее» высветится выбранное значение скорости.
Аналогично можно изменять минимальную скорость вращения заслонки см. п. 10 таблицы «Настройка».
6.2.6. Задержка на охлаждение.
В режиме «Рабочий цикл» после процесса резистивного испарения перед отключением высоковакуумного насоса предусмотрена задержка на охлаждение. Для ввода этого параметра настройки необходимо:
- в столбце «Задание» строки 11 «Задержка на охлаждение» щелкнуть два раза левой кнопкой мыши;
- с помощью клавиатуры набрать необходимое значение параметра;
- нажать клавишу «Передача параметров»;
- ввести «Да» для подтверждения передачи;
- в столбце «Текущее» высветится введенное время задержки.
ВВОД ПАРАМЕТРОВ
Режим ввода параметров позволяет задавать и изменять параметры работы установки согласно технологическим картам вручную, считывать параметры из библиотеки программ, записывать параметры в библиотеку программ.
Ввод параметров (вручную)
Для ввода параметров автоматического режима необходимо войти в меню «Параметры» согласно п. 5.2 настоящего руководства оператора. На экране появится таблица параметров (см. рис. 8).
 |
Рис. 8.
Для ввода параметров режима наладки необходимо войти в меню «Наладка» согласно п. 5.2, а затем в меню «Параметры». На экране появится таблица параметров (см. рис. 9).
Рис. 9.
 |
Для ввода параметров автоматического режима вручную необходимо:
- в столбце «Задание» с помощью мыши выбрать вводимый параметр,щелкнув два раза левой кнопкой мыши;
- с помощью клавиатуры набрать необходимое значение параметра в указанном интервале согласно технологической карте;
- аналогично ввести значения других параметров;
- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Передача параметров» и щелкнуть левой кнопкой мыши, на экране появится окно (см. рис. 10);
- ввести «Да» для подтверждения передачи параметров контроллеру;
- в столбце «Контроль» высветятся параметры, записанные в контроллер
(см. рис. 11).
Если оператор вводит значение параметра не из указанного интервала, то при вводе программа записывает минимальное или максимальное значение этого интервала.
 |
Рис. 10.
ВНИМАНИЕ!При передаче параметров контроллеру вся таблица параметров передается целиком.
ВНИМАНИЕ!Оператор может вводить и изменять технологически параметры в любой момент времени.
 |
Рис. 11.