Рабочие эталоны 1-го разряда
3.4.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют рельефные меры в диапазоне от 10 
до 10 
м, микроскопы с лазерным интерферометром и лазерные измерители перемещений в диапазоне от 10 до 10 м.
3.4.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 
при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ±1 до ±10 нм.
3.4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда - рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.
3.4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют рельефные меры, электронные растровые измерительные микроскопы и сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы в диапазоне от 10 до 10 м.
3.4.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей при доверительной вероятности 0,99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ±3 до ±50 нм.
3.4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений - рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.