Оценка точности выбранной системы совмещения
и технологии изготовления МПП с напрессовкой фольги в качестве внешних слоев для объекта 1.
2.16.2.1. Погрешность расположения схемы на фотошаблоне (без базовых отверстий) -10 мкм.
2.16.2.2. Погрешность расположения технологических отверстий сформированных на установке TARGOMAT в заготовке относительно стержневых слоев (3-4) -15 мкм.
2.16.2.3. Сдвиг слоев при прессовании - 0 мкм (напресовка фольги на стержневые слои).
2.16.2.4. Точность сверления отверстий на сверлильном станке (по статистическим данным), с учетом разницы координат входа и выхода, сверла - 30 мкм.
2.16.2.5. Изменение базовых размеров фотошаблона при изменении влажности ± 5% и температуры ±1 ºС на размере фотошаблона 305×457 по диагонали - 28 мкм.
2.16.2.6. Точность совмещения внутренних слоев на установке экспонирования EXPOMAT-HAE ±10мкм.
2.16.2.7. Точность совмещения внешних слоев на установке EXPOMAT-HAE ±15 мкм (паспортные данные - ± 5 мкм).
2.16.2.8. Примем, что изменение размеров фотошаблона при многократном экспонировании на копировальной раме с холодным источником света - не более 25 мкм.
2.16.2.9. Тогда точность расположения топологии рисунка схемы на стержневом 3-4 слое будет равна: ∆F = Ö(102 + 102 + (28/2) 2 + (25/2) 2 )*2 = 23,5 мкм.
2.16.2.10. Учитывая, что слои 1,2,5,6 при совмещении строго привязаны по методике изготовления к стержневым слоям 3-4, точность совмещения на плате составит:
∆Т = Ö(23,52 + 152 + 302 + 152) = 43,6 мкм.
2.16.2.11. При диаметре контактной площадки 0,4 мм для отверстия Ø0,15 мм, и подтраве на 18-ти микронной фольге порядка 20 мкм, гарантийном пояске для «5» класса точности по ГОСТ 23751 - 25 мкм получаем: (0,4 - 0,15)/2 – 0,02- 0,025 - 0,043 = 0,037 мм запаса для отклонений в технологическом процессе.
Вывод: Предлагаемый комплект оборудования с выбранной системой совмещения, светокопировальной рамой, позволяет изготавливать МПП «5» класса точности.
Расчет точности совмещения
при стандартном процессе изготовления МПП.
2.16.3.1. Погрешность расположения схемы на фотошаблоне (без базовых отверстий) -10 мкм .
2.16.3.2. Погрешность расположения технологических отверстий, сформированных на установке TARGOMAT в заготовке относительно стержневых слоев (3-4) - 15 мкм.
2.16.3.3. Сдвиг слоев при прессовании - 40 мкм.
2.16.3.4. Точность сверления отверстий на сверлильном станке (по статистическим данным), с учетом разницы координат входа и выхода, сверла - 30 мкм.
2.16.3.5. Изменение базовых размеров фотошаблона при изменении влажности ±5% и температуры ±1 ºС на размере фотошаблона 305×457 по диагонали -28 мкм.
2.16.3.6. Точность совмещения внутренних слоев на установке экспонирования EXPOMAT-HAE ±10мкм.
2.16.3.7. Точность совмещения внешних слоев на установке EXPOMAT-HAE ±15 мкм (паспортные данные - ± 5 мкм)..
2.16.3.8. Примем, что изменение размеров фотошаблонов при многократном экспонировании на копировальной раме с холодным источником света - не более 25 мкм.
2.16.3.9. Тогда точность расположения топологии рисунка схемы на стержневом слое (слои привязки технологических отверстий) будет равна:
∆F =1/2Ö(102 + 102 + (28/2) 2 + (25/2) 2 )*2 = 16,6 мкм.
2.16.3.10. Учитывая, что сверление при совмещении строго привязано по методике изготовления к стержневым слоям 3-4, точность совмещения на плате составит:
∆Т = Ö(16,62 + 152 + 302 + 152 + 402) = 56,6 мкм.
2.16.3.11. При диаметре контактной площадки 0,4 мм для отверстия Ø0,15 мм, и подтраве на 18-ти микронной фольге менее 20 мкм, при гарантийном пояске для «5» класса точности по ГОСТ 23751 - 25 мкм получаем:
(0,4 - 0,15)/2 – 0,02- 0,025 - 0,056 = 0,024 мм запаса для отклонений в технологическом процессе.
Вывод: Предлагаемый комплект оборудования с выбранной системой совмещения, светокопировальной рамой, позволяет изготавливать МПП «5» класса точности.
Комплект технологического оборудования
отвечающего проектным мощностям и требуемому техническому уровню – в приложении 1.
Гарантии проекта
Технико-экономические показатели проекта, выполнение проектных норм, заявленных в исходных данных Заказчика, и конкурентоспособность продукции гарантируются при условии полного выполнения комплексных решений, представленных в проекте: оборудования, материалов, инструмента и технологических принципов изготовления.