Нормы удельных основных производственных площадей по группам оборудования
| № п/п | Название групп оборудования и рабочих мест | Удельная производственная площадь на единицу оборудования и рабочего места, м2 | |
| Оборудование для шлифовки и полировки заготовок | 5-7,5 | ||
| Токарно-револьверные автоматы и револьверные станки | 10- 12 | ||
| Оборудование для штамповки, вырубки, гибки заготовок | 7-10 | ||
| Сверлильные станки | 5-7 | ||
| Фрезерные станки | 6-8 | ||
| Прессы до 25 т | 10- 12 | ||
| Автоматы и полуавтоматы для литья керамики, пластмассы | 5,5 - 6,5 | ||
| Прессы от 25 до 100 т | 16-18 | ||
| Электропечи конвейерные | 18-20 | ||
| Оборудование для металлизации керамики | 10- 12 | ||
| Мельницы шаровые | 5- 10 | ||
| Вибрационные сита | 3-5 | ||
| Оборудование для приготовления электролитов | 5,5 - 7,5 | ||
| Оборудование для фильтрации электролитов | 5-6,5 | ||
| [Оборудование для приготовления фоторезистов, клеев, моющих растворов и т.д. | 4,5 - 5,5 | ||
| Оборудование для обработки оснастки ((химические шкафы) | 8-10 | ||
| [Лазерное оборудование для резки, скрайбирования, формирования отверстий | 5-6 | ||
| Оборудование для плазмохимической очистки | 5,5 - 6,5 | ||
| Ионно-лучевые установки | 20-25 | ||
| Оборудование для химической очистки заготовок | 4,5 - 5,5 | ||
| Оборудование для ионно-плазменного напыления | 12-14 | ||
| Оборудование для вакуумного напыления (термического, магнетронного) | 11 -13 | ||
| Линии никелирования, золочения (химического осаждения) | 90 - 100 (на линию) | ||
| Линии гальванического осаждения металлов, сплавов | 60 - 90 (на линию) | ||
| Оборудование химической очистки по типу "Лада-Т" | 4,5 - 5,5 | ||
| Линии фотолитографии типа "Лада" | 30 - 35(на линию) | ||
| Автоматизированные диффузионные электропечи с комплектом сервисного оборудования | 17 - 20 (на комплект) | ||
| Оборудование для совмещения и экспонирования | 4,5 - 6,5 | ||
| Оборудование для осаждения моно- и поликристаллического кремния | 40-45 | ||
| Продолжение табл.1 | |||
| Неавтоматизированные установки для контроля электрофизических параметров ИС | 4-5 | ||
| Автоматизированные системы для контроля электрофизических параметров ИС с управлением от ЭВМ | 7-10 (на систему) | ||
| Линии оборудования для трафаретной печати | 17 - 20 (на линию) | ||
| Оборудование для лужения выводов ЭРК | 4,5 - 5,5 | ||
| Линия групповой пайки волной (двойной волной) припоя | 5 - 7,5 (на линию) | ||
| Установки сборки и монтажа кристаллов в корпусе (либо на ленте-носителе) | 4,5 - 5,5 | ||
| Установки приварки выводов настольного типа | 4,5 - 5,5 | ||
| Установки приварки выводов с управлением от ЭВМ | 8-10 | ||
| Комплект оборудования для подготовки ЭРК перед установкой на плату | 8-12 (на комплект) | ||
| Установки сборки и монтажа гибридных микросборок | 9-11 (на один сборочно-монтажный комплект) | ||
| Оборудование для микропайки термокарандашом | 4,5 - 5,5 | ||
| Оборудование для вакуумной пайки | 6,5 - 7,5 | ||
| Автоматизированные системы для контроля коммутационных плат | 4,5 - 5,5 (на систему) | ||
| Установки контроля внешнего вида изделий | 4,5 - 5,5 | ||
| Оборудование (лазерное) для подгонки номиналов резисторов | 4,5 - 6,0 | ||
| 4Ь | Автоматизированные системы осаждения пленок при пониженном давлении типа "Изотрон-2" (чаще для получения диэлектрических пленок) | 11-13 (на систему) | |
| Оборудование для контроля качества монтажа | 4,5 - 5,5 | ||
| Оборудование для герметизации изделий сваркой | 4,5-6,5 | ||
| Оборудование для герметизации пайкой | 4-5,5 | ||
| Оборудование для герметизации пластмассой | 6-6,5 | ||
| Оборудование для контроля герметичности жидкостным методом | 4,5 - 5,5 | ||
| Оборудование для контроля герметичности масс-спектрометрическим (гелиевым) методом | 5-7 | ||
| Оборудование для климатических испытаний | 5-7 | ||
| Универсальное измерительное оборудование с управлением от ЭВМ | 5,5 - 7,5 | ||
| Специализированное измерительное оборудование | 4-5,5 | ||
| Сортировщики | 4-5 | ||
| Стенды электротермотренировки | 8-9 | ||
| Оборудование для испытаний на воздействие вибрационных нагрузок | 5- 10 | ||
| Оборудование для испытаний на воздействие ударных нагрузок | 5-8 | ||
| Оборудование для испытаний на воздействие линейных ускорений | 5- 10 | ||
| Продолжение табл.1 | |||
| Оборудование для нанесения покрытий на корпус | 4,5 - 5,5 | ||
| Оборудование для маркировки и упаковки | 4-5 | ||
| Управляющие вычислительные комплексы АСУТП | 54 - 72 (на один комплекс) | ||
| Тестеры | 5-6 | ||
| ЭВМ | 3,5-4 | ||
| Оборудование для зондовых измерений | 4,5 - 5,5 | ||
| Установки термообработки (в т.ч. с ИК-нагревом) | 4-5 | ||
| Установки для нанесения фоторезиста (в т.ч. сухого плёночного) | 4,5-6 | ||
| Установки пайки оплавлением дозированного припоя (в т.ч. настольного типа) | 4,5 - 6,5 | ||
| Установки трафаретной печати припойных паст | 5,5 - 6,5 | ||
| Оборудование для сборки ЭРК (в т.ч. полуавтоматическое и автоматы) | 6- 10 | ||
| Стол со скафандром | 4,5 - 5,5 | ||
Таблица 2.